一些常见的 真空系统氦泄漏测试方法 包括：
1. 质谱检漏仪 （MSLD）：
该方法使用质谱仪来检测从系统中逸出的氦离子，从而能够精确检测和定位泄漏。
2. 吸枪探头：
带有氦敏感传感器的吸枪探头用于通过检测从系统中泄漏的氦气来定位泄漏。
3. 氦喷雾探头：
将氦气喷射到真空系统的表面，并使用吸枪探头来检测从泄漏区域逸出的任何氦气。
4、真空室法：
真空室用氦气加压，并通过监测压力衰减或使用吸枪来检查系统是否泄漏。
5、气泡测试：
将含有氦敏感指示剂的溶液涂在可疑泄漏区域，任何逸出的氦都会导致气泡形成，从而可以检测泄漏。
请务必参考具体指南和行业标准，以确定最适合您的特定真空系统的方法。 联系我们