氦质谱仪 检漏仪 是一种用于检测和定位各种系统或组件中泄漏的专用仪器。它的工作原理是，氦气是一种小而轻的气体，即使是最小的泄漏也能轻松渗透。
这是如何 氦质谱检漏仪 通常工作：
真空室：将待测试的系统放置在真空室内，然后将真空室抽真空以形成低压环境。
氦气入口：氦气通过探头或喷嘴引入腔室。氦气充当示踪气体。
泄漏检测：如果系统存在泄漏，氦气将通过泄漏处逸出并进入真空室。
电离：在真空室内，氦气受到高能电子的轰击，使其电离并形成氦离子。
质谱分析：氦离子被加速并通过磁场，磁场根据质荷比将它们分开。检测器测量离子的质量并生成信号。
泄漏指示：如果质谱仪检测到氦离子，则表明存在泄漏。检测器产生的信号可用于查明泄漏位置。
氦质谱检漏仪极其灵敏，可以检测小至 10^-12 至 10^-9 mbar·L/s（毫巴升每秒）的泄漏。它们通常用于制造、汽车、航空航天、暖通空调和制冷等行业，以测试需要无泄漏的组件、系统或设备的完整性。
值得注意的是，氦质谱检漏仪需要使用氦气，氦气价格昂贵且不可再生。因此，在泄漏检测过程中高效、负责任地使用氦气非常重要。
