مع التطور المستمر لتكنولوجيا الفضاء ، أصبحت مشكلة التسرب عاملاً رئيسياً يجب مراعاته في تصميم وتصنيع منتجات الفضاء. المزيد والمزيد من الناس ينتبهون إليه. جذب اكتشاف معدل التسرب للمكونات الإلكترونية ذات الصلة اهتمامًا كبيرًا من الباحثين. في الوقت الحاضر ، يتم تطبيق تقنية الكشف عن التسرب بشكل أساسي على المرحلات المختومة ومرفقات الدوائر المتكاملة.
يمكن استخدام كاشف التسرب بمطياف كتلة الهليوم لقياس معدل التسرب للترحيل المختوم بسهولة. اعتماد طرق مناسبة للكشف عن التسرب لمختلف المنتجات.
في الوقت الحاضر ، يعتمد كشف معدل التسرب للترحيل العسكري المختوم بشكل أساسي على برنامج اختبار 112 لـ GJB360A-96. تم تحديد الشروط والخطوات لاكتشاف التسرب للترحيل المختوم بوضوح في الإجراء التجريبي. هذه المرة ، نناقش بشكل أساسي أن اكتشاف تسرب الضغط الخلفي ينتمي إلى خطوة اكتشاف التسرب الدقيق.
تنقسم طريقة الكشف عن تسرب الضغط الخلفي للترحيل عمومًا إلى ثلاث خطوات: 1. أضف ضغط الهيليوم: ضع المرحل المختبَر في خزان الضغط المملوء بالهيليوم ؛ 2 التنقية: أخرج المرحل من خزان الضغط وقم بنفخ الهليوم الممتز على سطح التتابع بالنيتروجين أو تدفق الهواء. 3 كشف التسرب: ضع المرحل في صندوق كشف التسرب الخاص بكاشف التسرب للكشف عنه. إذا كان المرحل به تسرب ، فإن الهيليوم المضغوط في الحجرة الداخلية سيدخل كاشف التسرب من خلال فتحة التسرب ، وسيتم عرض معدل التسرب على الجهاز.
من الواضح في GJB360A-96 أن ضغط الضغط المختار ووقت الضغط ووقت البقاء الأقصى يجب أن يجعل معدل التسرب المحدد للعينة المختبرة أكبر من الحد الأدنى لمعدل التسرب القابل للكشف لكاشف التسرب. عندما يكون التسرب كبيرًا جدًا ، سيتم إخلاء الهيليوم الذي يتم الضغط عليه أثناء ضغط الهيليوم قبل اكتشاف التسرب ، لذلك لا يمكن التقاط الهيليوم. يمكن استخدام طريقة زيت الفلور للكشف عن التسرب الخام للتحقق من وجود تسربات كبيرة.
